为规范多晶硅工厂的工程设计,提高工程设计质量,做到技术先进、经济合理、安全可靠、环保节能,制定本规范。
本规范适用于采用三氯氢硅氢还原法的新建、扩建和改建多晶硅工厂的工程设计,也适用于硅烷歧化法多晶硅厂中三氯氢硅合成、四氯化硅氢化和氯硅烷提纯的工程设计。
标准编号:GB 51034-2014
标准名称:多晶硅工厂设计规范
英文名称:Code for design of polysilicon plant
发布部门:中华人民共和国住房和城乡建设部
发布日期:2014-08-27
实施日期:2015-05-01
标准状态:现行
文件格式:PDF
文件页数:121页
本规范适用于采用三氯氢硅氢还原法的新建、扩建和改建多晶硅工厂的工程设计,也适用于硅烷歧化法多晶硅厂中三氯氢硅合成、四氯化硅氢化和氯硅烷提纯的工程设计。
标准编号:GB 51034-2014
标准名称:多晶硅工厂设计规范
英文名称:Code for design of polysilicon plant
发布部门:中华人民共和国住房和城乡建设部
发布日期:2014-08-27
实施日期:2015-05-01
标准状态:现行
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