A agony 见习生 注册 2022-07-05 帖子 4 反馈 0 积分 19 2022-07-07 #1 本标准规定了采用电感耦合等离子体原子发射光谱(ICP-AES)法测定半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的方法。 本标准适用于半导体化学机械抛光(CMP)中抛光液用的各种硅溶胶。 标准编号:JC/T 2133-2012 标准名称:半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法 英文名称:Determination of impurities in silica sol for polishing solution in semiconductor industry—Inductively coupled plasma atomic emission spectrometric method 发布部门:中华人民共和国工业和信息化部 发布日期:2012-12-28 实施日期:2013-06-01 标准状态:现行 起草单位:中国科学院上海硅酸盐研究所 文件格式:PDF 文件页数:11页 附件 JCT 2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法.pdf 2.6 MB · 查看: 2 申明:内容来自用户上传,著作权归原作者所有。如涉及侵权请点击 联系我们!请不要使用下载软件下载附件!
本标准规定了采用电感耦合等离子体原子发射光谱(ICP-AES)法测定半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的方法。 本标准适用于半导体化学机械抛光(CMP)中抛光液用的各种硅溶胶。 标准编号:JC/T 2133-2012 标准名称:半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法 英文名称:Determination of impurities in silica sol for polishing solution in semiconductor industry—Inductively coupled plasma atomic emission spectrometric method 发布部门:中华人民共和国工业和信息化部 发布日期:2012-12-28 实施日期:2013-06-01 标准状态:现行 起草单位:中国科学院上海硅酸盐研究所 文件格式:PDF 文件页数:11页